?微型導軌定制長度精度：指微型導軌定制實際長度與設計長度的符合程度。一般來說，微型導軌的長度精度通常控制在 ±0.01mm 至 ±0.05mm 之間。例如，對于一些高精度的光學設備或半導體制造設備中使用的微型導軌，要求長度精度達到 ±0.01mm，以確保設備的高精度定位和運動控制。
導軌寬度精度：即導軌寬度尺寸的準確性。其精度一般在 ±0.005mm 至 ±0.02mm 范圍內。像在精密儀器的傳動系統(tǒng)中，微型導軌的寬度精度若能達到 ±0.005mm，可有效減少導軌與滑塊之間的間隙，提高運動的平穩(wěn)性和準確性。
直線度精度：直線度是衡量導軌在縱向平面內直線程度的指標。通常，微型導軌的直線度精度要求在每 200mm 長度內不超過 ±0.002mm 至 ±0.005mm。例如在高精度的坐標測量機中，需要微型導軌具有極高的直線度精度，以保證測量探頭能夠準確地沿著直線軌跡移動，從而提高測量精度。
平面度精度：平面度反映了導軌表面在橫向平面內的平整程度。微型導軌的平面度精度一般要求在每 100mm×100mm 的面積內，平面度誤差不超過 ±0.001mm 至 ±0.003mm。在一些對表面平整度要求極高的光學鏡片研磨設備中，微型導軌的平面度精度達到 ±0.001mm，可確保鏡片在研磨過程中受到均勻的壓力，提高鏡片的研磨質量。
平行度精度：包括導軌兩側面之間的平行度以及導軌與安裝基面之間的平行度。微型導軌兩側面的平行度精度通常控制在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間；導軌與安裝基面的平行度精度一般要求在每 100mm 長度內，誤差不超過 ±0.003mm 至 ±0.008mm。以自動化生產線中的微型導軌為例，兩側面平行度精度高可使滑塊在導軌上平穩(wěn)運行，減少磨損和卡滯現(xiàn)象；與安裝基面的平行度精度高則能保證整個傳動系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
垂直度精度：主要是指導軌側面與底面之間的垂直度。微型導軌的垂直度精度一般要求在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之間。在一些需要進行高精度三維運動控制的設備中，如激光加工設備，導軌的垂直度精度直接影響到加工精度和質量，若垂直度誤差過大，可能導致激光束在加工過程中出現(xiàn)偏差，影響加工效果。